Der Greene, Tweed Geschäftsbereich für Halbleiter- und Solarenergie bietet Kunden ein umfassendes Produktportfolio – von Elastomeren und Thermoplasten bis hin zu integrierten Hilfsmaterialien wie Beschichtungs- und Verbindungstechnologien. Dieses Portfolio erweitern wir stetig. Auf diese Weise sind wir in der Lage, unseren Kunden Gesamtlösungen anzubieten, die den Ertrag und Durchsatz ihrer Ausrüstung verbessern und die Entwicklung von Technologien der nächsten Generation ermöglichen.
Unsere hoch spezialisierten Dichtungsmaterialien verhindern eine Mikrokontamination bei gleichzeitiger hoher chemischer Beständigkeit. Dadurch steigt die Lebensdauer der Dichtungen bei allen nassen und trockenen Wafer-Fertigungsprozessen.
Die fortschrittlichen Thermoplast-Lösungen von Greene, Tweed überzeugen durch einen minimalen, extrahierbaren Ionengehalt. Hinzu kommen außergewöhnliche Plasmabeständigkeit, geringe Partikelerzeugung und hohe Formbeständigkeit. Aufgrund dieser Eigenschaften eignen sie sich optimal als Bauteile in Prozesskammern bei der Wafer-Fertigung und für Wafer-Handling- Anwendungen.
In der Halbleiter- und Solarindustrie wird bei der Verarbeitung von Wafern häufig das Plasmaätzverfahren angewandt. Dabei widerstehen die Saphir-Bauteile von Greene, Tweed optimal der aggressiven Umgebung. Sie verringern den Verschleiß und verlängern die Lebensdauer der Anlagen.
Um die Lieferketten unserer Kunden in Zukunft noch schlanker gestalten zu können, entwickeln wir kontinuierlich weitere, innovative Lösungen aus Quarz, Siliziumkarbid, Keramik und Silizium.
Als weltweiter Lieferant unterstützen wir unsere Kunden bei ihren Innovationen und bieten eine Vielzahl von Lösungen für ihre speziellen Anforderungen.
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